【精测电子】首次中标3台长江存储膜厚设备，打破全球量测设备竞争格局并有望成为中国的KLA

根据中国国际招标网，1月17日控股子公司上海精测半导体技术有限公司（简称“上海精测”）中标长江存储的3台集成式膜厚光学关键尺寸量测仪。

支撑评级的要点

首次中标3D NAND客户的3台膜厚量测设备，进度超预期。子公司上海精测成立于2018年7月，产品主要聚焦在半导体前道的量测设备，2018年就实现收入259万元，2019年上半年实现收入409万元，根据公司公告，上海精测2020-2022年收入不低于6,240万元、1.47亿元、2.298亿元。公司以椭圆偏振技术为核心，在1年多时间内开发了膜厚测量以及光学关键尺寸测量系统，包括集成式膜厚测量机EFILM 300IM、集成单/双模块膜厚测量机EFILM 300DS、高性能膜厚及OCD测量机EPROFILE 300FD等产品型号，并在近日实现3台来自长江存储的集成式膜厚光学关键尺寸量测仪订单，表明上海精测已具备晶圆制造环节的膜厚量测设备重复、批量供应能力，研发、验证、批量销售的进度超我们预期。

打破量测设备长期被KLA、AMAT、Hitachi High-Tech、Nanometrics等的竞争格局。根据Gartner、SEMI、IC World等数据，晶圆制造环节的量测设备市场上，KLA市占率最高为52%，其次是AMAT、Hitachi High-Tech，前三家市占率合计为75%。量测设备的产品分类中，膜厚设备主要被KLA、Nova、Nanometrics&Rudolph垄断，电子束复查被ASML、应用材料垄断，套刻误差测量被KLA和ASML垄断，OCD被KLA和Nanometrics垄断，无图形晶圆检测和有图形晶圆检测均被KLA垄断。根据中国国际招标网，在本土晶圆厂的量测设备市场上，也主要是被KLA、Nanometrics、ASML等长期垄断，国产品牌之一上海睿励2017年底拿到长江存储2台膜厚设备订单但未有后续重复订单，国产品牌之二中科飞测自2019年下半年至今累计中标长江存储的3台光学表面三维形貌量测设备，国产品牌之三上海精测中标3台膜厚量测设备，再次打破国际品牌KLA、Nanometrics等长期垄断量测设备的行业竞争格局。

全球量测设备市场约60亿美元，其中膜厚设备市场规模约7亿美元。根据Gartner数据，量测设备在晶圆制造工艺设备市场中占比11%，全球量测设备市场规模约为60亿美元，其中膜厚设备市场规模7亿美元，占比12%，OCD量测约6亿美元，占比10%，晶圆形貌检测约3.5亿美元，占比6%，无图形晶圆检测设备约3亿美元，占比5%，无图形晶圆检测设备18.5亿美元，占比32%，电子束复检设备6亿美元，占比11%。根据全球半导体设备的需求分布，中国大陆的量测设备市场规模估计为13亿美元，其中膜厚设备市场规模1.5亿美元，但根据长江存储规划3D NAND层数将从目前64层直接增至128层，其膜厚量测设备至少有翻倍增长空间。

已获大基金入股，上海精测有望成为中国未来的KLA。由于KLA在多数的量测设备产品分类中的市占率50%-90%，KLA在上下游产业链中具备很强的议价能力，KLA毛利率长期维持在55%-65%范围内，在全球半导体设备行业中处于高盈利水平，KLA 2019财年营业收入45.69亿美元，净利润11.76亿美元，目前市值282亿美元，PS、PB分别为6倍、24倍。根据公司公告，上海精测布局膜厚及OCD量测、电子束Review、2019年9月获国家集成电路大基金、上海半导体装备材料产业投资基金等的投资支持，资本金从1亿元增至6.5亿元，人才队伍也扩张到上百人，已具备较强的资金实力、强大的研发团队，且产品也被3D NAND客户的高度认可，有望受益于本土晶圆厂未来3-5年大幅度扩产及年均千亿元设备采购，成为中国未来的KLA。

估值

我们维持公司19/20/21年净利润预测不变，目前市值对应PE估值为44/35/29倍，但公司全面布局集成电路量测设备且快速进入收获成长期，维持买入评级。

评级面临的主要风险

公司研发进展不及预期，下游客户扩产不及预期。

<正文>

一、中标3台膜厚量测设备，上海精测量测设备研发与产业化超预期

公司上海精测成立于2018年7月，产品主要聚焦在半导体前道的量测设备，2018年就实现收入259万元，2019年上半年实现收入409万元。根据公司公告，2020年上海精测的营收不低于6240万元，2021年不低于1.47亿元，2022年不低于2.298亿元。

根据上海精测主页显示，公司以椭圆偏振技术为核心，在1年多时间内开发了适用于半导体工业级应用的膜厚测量以及光学关键尺寸测量系统，包括集成式膜厚测量机EFILM 300IM、集成单/双模块膜厚测量机EFILM 300DS、高性能膜厚及OCD测量机EPROFILE 300FD等产品型号，并在近日实现3台来自长江存储的集成式膜厚光学关键尺寸量测仪订单，表明上海精测已具备晶圆制造环节的膜厚量测设备重复、批量供应能力，研发、验证、批量销售的进度超我们预期。

二、打破量测设备长期被KLA、AMAT、Hitachi High-Tech、Nanometrics等的竞争格局

晶圆制造环节的量测设备市场上，KLA市占率最高为52%，其次是AMAT、HitachiHigh-Tech，前三家市占率合计为75%。

量测设备的产品分类中，膜厚设备主要被KLA、Nova、Nanometrics&Rudolph垄断，电子束复查被ASML、应用材料垄断，套刻误差测量被KLA和ASML垄断，OCD被KLA和Nanometrics垄断，无图形晶圆检测和有图形晶圆检测均被KLA垄断。

在本土晶圆厂的量测设备市场上，也主要是被KLA、Nanometrics、ASML等长期垄断，国产品牌之一上海睿励2017年底拿到长江存储2台膜厚设备订单但未有后续重复订单，国产品牌之二中科飞测自2019年下半年至今累计中标长江存储的3台光学表面三维形貌量测设备，国产品牌之三上海精测中标3台膜厚量测设备，再次打破国际品牌KLA、Nanometrics等长期垄断量测设备的行业竞争格局。

三、全球量测设备市场约60亿美元，其中膜厚设备市场规模约7亿美元

根据Gartner数据，量测设备在晶圆制造工艺设备市场中占比11%，全球量测设备市场规模约为60亿美元，其中膜厚设备市场规模7亿美元，占比12%，OCD量测约6亿美元，占比10%，晶圆形貌检测约3.5亿美元，占比6%，无图形晶圆检测设备约3亿美元，占比5%，无图形晶圆检测设备18.5亿美元，占比32%，电子束复检设备6亿美元，占比11%。

根据全球半导体设备的需求分布，中国大陆的量测设备市场规模估计为13亿美元，其中膜厚设备市场规模1.5亿美元，但根据长江存储规划3D NAND层数将从目前64层直接增至128层，其膜厚量测设备至少有翻倍增长空间。

四、已获大基金入股，上海精测有望成为中国未来的KLA

由于KLA在多数的量测设备产品分类中的市占率50%-90%，KLA在上下游产业链中具备很强的议价能力，毛利率长期维持在55%-65%范围内，在全球半导体设备行业中处于高盈利水平，KLA 2019财年营业收入45.69亿美元，净利润11.76亿美元，支撑目前市值282亿美元，PS、PB分别为6倍、24倍。

根据公司公告，上海精测布局膜厚及OCD量测、电子束Review、2019年9月获国家集成电路大基金、上海半导体装备材料产业投资基金等的投资支持，资本金从1亿元增至6.5亿元，人才队伍也扩张到上百人，已具备较强的资金实力、强大的研发团队，且产品也被3D NAND客户的高度认可，有望受益于本土晶圆厂未来3-5年大幅度扩产及年均千亿元设备采购，成为中国未来的KLA。

五、投资建议：维持“买入评级”

我们维持公司19/20/21年净利润预测不变，目前市值对应PE估值为44/35/29倍，但公司全面布局集成电路量测设备且快速进入收获成长期，有望成为中国未来的KLA，目前正处于量测设备业务爆发期，维持买入评级。

半导体设备系列研究报告，欢迎点击链接：

1、行业篇

《半导体设备行业：12月本土存储厂加快设备采购，膜厚量测、CMP等设备采购量大幅增加》（2019-12-29）

（2019-12-4）

《晶圆厂工艺设备配置情况及国产设备市占率的统计分析》中国半导体设备年会（2019）演讲稿

2、公司篇

2019-9-5