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【中银半导体强烈推荐半导体设备与材料】大基金二期投资即将启动?哪些设备、材料、软件应当受到重视

中银半导体团队 半导体设备与材料 2023-03-26

据上海证券报和中证网报道,国家集成电路产业投资基金二期即将启动投资。
1、3月7日上海证券报报道,国际集成电路产业投资基金二期正在紧锣密鼓推进过程中,争取在一季度具备出资能力,要重点支持长江存储一期迅速提高产能,同时择机联合各方出资人启动长江存储二期。
2、3月12日中证网报道,预计国家大基金二期将于3月底开始实质投资。

报告要点
设备与材料是半导体产业的根基,但大基金一期投向设备与材料偏少。根据各公司公告,我们统计了大基金一期投资了7家半导体设备企业和7家半导体材料企业,合计投资金额58.亿元,占大基金一期投资额的4.2%,显著低于半导体设备与材料在全球半导体行业中约占20%的规模地位。其中,设备在大基金一期投资组合中仅占2.7%,低于半导体设备在全球半导体行业中约占11%的规模地位。材料在大基金一期投资组合中仅占1.5%,也低于半导体材料在全球半导体行业中约占9%的规模地位。

大基金二期投资有望向半导体设备与材料倾斜。大基金曾在去年半导体集成电路零部件峰会表示,大基金二期将从3个方面重点支持国产设备与材料发展:(1)二期基金将对在刻蚀机、薄膜设备、测试设备和清洗设备等领域已布局的企业保持高强度的持续支持,培育中国大陆“应用材料”或“东电电子”的企业苗子;(2)加快开展光刻机、化学机械研磨设备等核心设备以及关键零部件的投资布局,填补国产工艺设备空白;(3)督促制造企业提高国产装备验证及采购比例,为更多国产设备、材料提供工艺验证条件。

对大基金二期投资半导体设备的建议:重点关注大基金一期尚未涉足的光刻工艺、离子注入、CMP、硅片生长与加工、封装等的设备领域。
(1)工艺设备:
薄弱环节:相比刻蚀设备、薄膜设备,光刻工艺设备、离子注入机、量测设备的国产化率偏低,其中,光刻工艺设备对应可投资标的包括上微、芯源离子注入机对应可投资标的包括万业企业(凯世通)、中科信量测设备对应可投资标的包括精测电子、中科飞测、睿励。此外,华海清科、屹唐半导体也尚未获得大基金一期投资。
“应用材料”或“东电电子”的企业苗子
大基金提到仍会对刻蚀机(中微、北方华创)、薄膜设备(北方华创、拓荆)、清洗设备(盛美)等领域已布局企业保持高强度持续支持;“应用材料”或“东电电子”的企业苗子相关标的包括中微、北方华创或屹唐半导体
(2)硅片生长与加工设备:国内大硅片产线上设备国产化率也较低,大硅片加工设备抛光、切割、研磨、量测等设备主要依赖进口,且核心标的晶盛机电、南京晶能也尚未获得大基金一期投资;
(3)测试设备:除长川科技外,武汉精鸿、华峰测控、北京冠中集创、天津金海通、深圳矽电、上海中艺等未获得大基金一期投资;
(4)封装设备:国际品牌BESI、ASM Pacific、K&S垄断全球市场,中电科、苏州艾科瑞思、光力科技等值得关注。

半导体材料:重点关注大硅片、光刻胶、掩膜板、电子特气等领域。
(1)大硅片:全球被信越、Sumco、环球晶圆等垄断,其国产化对应可投资标的中,大基金一期参股硅产业30.48%,但尚未投资中环股份、金瑞泓、上海合晶、晶盛机电;
(2)光刻胶:投资标的如北京科华微(大基金尚未入股)、晶瑞股份(大基金持股4.99%)、南大光电(大基金尚未入股)、上海新阳等;
(3)掩膜板:除SMIC自制造掩膜板外,目前路维光电、清溢光电、菲利华均以面板掩膜板为主;
(4)电子特气:雅克科技(大基金持股5.73%)、华特气体(大基金尚未入股)、南大光电(大基金尚未入股)等;
(5)薄膜材料(前驱体):雅克科技(大基金持股5.73%);
(6)CMP材料:安集科技(大基金持股11.57%)、鼎龙股份;
(7)靶材:江丰电子(大基金尚未入股)、有研新材(大基金尚未入股)等。

集成电路软件:重点关注EDA、计算光刻等,其中:
(1)  EDA:国产化投资标的包括北京华大九天软件有限公司(大基金持股14%)
(2)  计算光刻软件:南京诚芯集成电路技术研究院有限公司、全芯智造。

重点推荐
尽管大基金一期对设备与材料投资比例偏低,但大基金二期已明确会加大对设备与材料的支持力度,因此大基金二期即将启动投资,将是国产半导体设备与材料板块强劲表现的主要催化剂之一,继续推荐北方华创、精测电子、万业企业、晶盛机电、长川科技,关注中微公司、至纯科技、芯源微、华峰测控、雅克科技、华特气体、中环股份、晶瑞股份、南大光电等。

评级面临的主要风险
客户项目进度低于预期,新产品工艺验证时间长且风险高。


<正文部分>

一、设备与材料在大基金一期投资组合中仅占4%,显著低于半导体设备与材料在全球半导体行业整体产值中约占20%的规模地位

根据各公司公告,我们统计了大基金一期投资了7家半导体设备企业和7家半导体材料企业,合计投资金额58.1亿元,占大基金一期投资额的4.2%。但在全球半导体产业链中,半导体设备与材料的产值约占全球半导体行业所有产值的20%左右,远高于国内设备与材料在大基金一期中仅占4%的投资比例,表明设备与材料在大基金后续产业投资中还有很大支持空间。



二、设备在大基金一期投资组合中仅占2.7%,低于半导体设备在全球半导体行业整体产值中约占11%的规模地位

大基金一期投资的8家半导体设备企业依次是中微、北方华创、长川、上海精测、拓荆、万业企业、盛美,累计投资37.7亿元,占大基金一期的比例为2.7%,持股比例在7%-35%范围内。

 
大基金一期投资半导体设备的比例,也低于全球半导体产业链中半导体设备产值11%的占比。

 

三、材料在大基金一期投资组合中仅占1.5%,也低于半导体材料在全球半导体行业整体产值中约占9%的规模地位

大基金一期投资的7家半导体材料企业依次是苏州晶瑞股份、上海硅产业集团、雅克科技、江苏鑫华半导体、北京世纪金光、烟台德邦,累计投资金额20.4亿元,占大基金一期的比例为1.5%,持股比例普遍在5%-49%范围内。

 
大基金一期投资半导体材料的比例,低于全球半导体产业链中半导体材料产值9%的占比。

 

四、半导体设备:重点关注工艺设备薄弱环节、硅片生长与加工设备

据中国国际招标网数据统计,国产工艺设备国产化率平均在10%左右,其中CVD、量测设备的国产化率低于5%,光刻设备、涂胶显影、离子注入机等工艺设备即将或刚刚取得零的突破,与国际品牌还有很大差距。
 
1、工艺设备:重点关注光刻设备、涂胶显影、离子注入机、量测设备等薄弱环节
(1)光刻工艺设备:光刻机国产化尚未重大突破,涂胶显影机国产化率不超过5%对应可投资标的包括上微、芯源
(2)离子注入机:国产化率也接近为零,对应可投资标的包括万业企业(凯世通)、中科信
(3)量测设备:国产化率不超过5%对应可投资标的包括精测电子、中科飞测、上海睿励
(4)此外,华海清科、屹唐半导体也尚未获得大基金一期投资。另大基金提到仍会对刻蚀机(中微、北方华创)、薄膜设备(北方华创、拓荆)、清洗设备(盛美)等领域已布局企业保持高强度持续支持。

 
2、硅片生产与加工设备:国产化率也普遍低于20%,大硅片加工设备抛光、切割、研磨、量测等设备主要依赖进口,且核心标的晶盛机电、南京晶能也尚未获得大基金一期投资

 
(1)长晶炉:进口品牌韩国S-TECH,国产品牌晶盛机电、南京晶能,晶盛机电有望实现长晶炉国产化;
(2)研磨设备:95%以上来自日本,包括设备厂商东京工程、光洋机械、东京精机、 HAMAI等;晶盛机电有望实现国产化;
(3)抛光:100%依赖进口,外资品牌包括Lapmaster、不二越、OKAMOTO、东京精机;
(4)减薄:100%从日本进口,包括DISCO、光洋机械、OKAMOTO(冈本机械);


晶盛机电实现中环领先长晶炉和切割设备国产化,目前已布局单晶硅棒滚磨一体机、抛光机、双面研磨、晶圆边缘检测设备。
 
3、封装设备:封装设备国产化率比我们想象要低很多,甚至还不如晶圆制程设备,部分封测厂的国产化率几乎为零,100%依赖于进口设备。封装设备国产化率低,可能是政策导向、舆论导向主要在制程设备,而对封装设备的政策培育和产业支持较少;晶圆级封装中用的类制程设备如刻蚀、PVD等国产化程度,比传统封装设备好。

 
国内尚未出现有知名度的封装设备供应商,国际上有ASM Pacific、K&S、Besi、Disco等收入体量50-100亿元的龙头;国内供应商包括中电科、苏州艾科瑞思等企业,但知名度还很小

 
 4、测试设备、探针台:国产化率低,大基金一期仅投资长川科技。
国产化方面,长电科技测试设备采购基本上全部来自进口品牌,以美国、日本、韩国、中国台湾、新加坡和德国等地品牌为主,如中国台湾(久元)、美国(Teradyne)、日本(Advantest)和韩国(INNO);分选机主要采购韩国的HANMI和中国台湾的鸿劲科技。

 
长江存储:测试机、探针台也主要来自进口品牌。长江存储累计采购400多台量测设备,其中大部分是关键尺寸、离子浓度、电子束等工艺良率管理设备,还包括132台测试机、108台探针台。其中测试机主要采购美国Teradyne和日本厂商Advantest  的设备,其中来自日本Advantest  84台,占比64%,来自美国Teradyne 44台,占比34%。

 
长江存储招标108台探针台中,仍处于招标状态有51台,已中标的探针台57台,其中日本东京精密29台,占比51%,韩国Semics 21台,占比37%,美国CASCADE 4台,占比7%。

 
从长江存储采购的探针台、测试机,以及长电科技采购的测试设备等的国产化情况看,后道测试设备以及探针台等的国产化程度非常低。长川科技、精测电子、华兴源创、北京华峰、北京冠中集创、上海中艺、天津金海通、深圳矽电、上海御渡等致力于测试设备和探针台国产化,机遇与挑战并存,建议关注。

 
 
五、 半导体材料:重点关注大硅片、光刻胶、掩膜板、电子特气等领域
 
2018年,全球半导体材料市场规模300多亿美元,其中大硅片占比37%,电子气体占13%,掩模版占12%,抛光材料、光刻胶、溅射靶材分别占比6.6%、5.2%、2.4%。

 
1、硅片:全球被信越、Sumco、环球晶圆等垄断,其国产化对应可投资标的有硅产业、中环股份、金瑞泓、上海合晶、晶盛机电等;


 *上图【立昂股份】是指杭州立昂微电子股份有限公司。
 
2、   光刻胶:投资标的如北京科华微、晶瑞股份、南大光电等。
 光刻胶国际品牌,主要包括日本JSR、东京应化、DOW、富士电子材料、信越化学等,前五大光刻胶供应商市场份额合计占到80%以上,市场集中度高。

在高端光刻胶市场上,全球的EUV和ArF i光刻胶主要是JSR、陶氏和信越化学等供应商,占有份额最大的是JSR、信越化学,TOK也有研发。

 
国内光刻胶布局主要有北京科华微电子、晶瑞股份(瑞红)、南大光电、上海新阳、容大感光等,其中:
1)        北京科华:6寸的G线、I线市场份额较高;8寸、12寸里面I-line、KrF都有突破,目前份额较小;
2)        晶瑞股份:子公司瑞红光刻胶产品已有几家6寸客户使用,2018年进入中芯国际天津工厂8寸线测试并获批量使用;
3)        南大光电:承担“ArF光刻胶产品的开发和产业化”02专项项目,预计2019年底在宁波建成一条光刻胶生产线,推进ArF 光刻胶产业化;
4)        上海新阳:在已立项研发用于逻辑与模拟芯片ArF光刻胶基础上,增加用于存储器芯片的半导体厚膜光刻胶(KrF)的研发立项;
5)        江苏汉拓:布局E-BEAM材料;
6)        厦门恒坤:主攻DRAM市场,2018 年成功导入IC 大厂并批量供货。
 
 
六、集成电路软件:重点关注EDA、计算光刻等
 
1、EDA:国产化投资标的包括北京华大九天软件有限公司
全球EDA行业被三家企业垄断,包括新思科技(Synopsys)、楷登电子科技(Cadence)、明导国际(Mentor Graphics),三家公司市占率合计约2/3,其中Synopsys市占率32%,Cadence市占率22%,Mentor Graphics市占率超10%。

国内EDA软件供应商包括北京华大九天、芯禾科技 、广立微电子等。
 
2、计算光刻软件:南京诚芯集成电路技术研究院有限公司、全芯智造。
 
计算光刻技术,包括光学邻近效应修正技术(OPC)、光源-掩模协同优化技术(SMO)、反向光刻技术(ILT)等分辨率增强技术。

国际知名计算光刻软件,包括Tachyon(ASML/Brion产品,国际领先光源-掩模协同优化软件,全球市场占有率第一),Prolith(KLA公司产品,精确的光学、光刻工艺集成仿真软件),Mentor Calibre(Mentor Graphics公司产品,业界领先的OPC专业仿真软件)三种大型商用软件。
国产计算光刻软件的研发企业,主要是南京诚芯集成电路技术研究院有限公司、全芯智造。




半导体设备系列研究报告,欢迎点击链接:
1、行业篇
《【半导体设备】强烈推荐四大理由:先进制程、存储涨价、瓦森纳技术管控升级、大基金二期投资》2020-3-12
《【半导体系列1】光刻胶:进口受制于人,国产I-line、KrF光刻胶已有突破,ArF光刻胶也有布局》》2020-2-24
《【强烈推荐】半导体设备:DRAM、NAND价格双双进入上涨阶段,存储厂商资本开支有望年内反弹》2020-2-17
《半导体设备推荐报告:2019年全球半导体设备行业下滑6%,三、四季度明显回暖,工艺节点转换继续支撑2020年行业上行》2020-2-6
《半导体设备:从刻蚀之王Lam Research季报看半导体设备投资机会》2020-2-5
《半导体设备:ASML的EUV光刻机需求强劲,经营业绩屡创历史新高》2020-1-23
《半导体设备:先进制程与存储的扩产将成国产设备与材料崛起的双引擎》2020-1-17
《半导体设备:债转股入股上海睿励,大基金继续支持本土半导体设备发展》2020-1-10
《半导体设备行业的2020年:全球迎来采购大潮,国产品牌将全面突破》(2019-12-30)
《半导体设备行业:12月本土存厂加快设备采购,膜厚量测、CMP等设备采购量大幅增加》(2019-12-29)
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《半导体设备:今年台积电已采购设备百亿美元增长46%,ASML超应用材料为TSMC最大设备供应商,中微、江丰电子进入台积电先进制程》(2019-12-13)
《半导体设备国产化专题八:工艺控制与量测设备被国际品牌垄断,但国产品牌正取得突破》
(2019-12-4)
《半导体设备国产化专题七:硅片生长及加工设备超80%依赖进口,但国产化率有上升趋势》2019-11-24)
《半导体设备国产化专题六:光刻和涂胶显影设备分别被ASML、TEL垄断,去胶设备由屹唐实现国产化》2019-11-10)
《半导体设备行业三季报总结:全球光刻机订单翻倍增长,大陆工艺设备采购明显加快》2019-11-3)
《半导体设备行业:TSMC 扩大资本开支,ASML EUV订单强劲增长,国产设备有望获大基金二期重点支持》(2019-10-28)
《半导体设备专题研究:5G将推动半导体设备再上新台阶》(2019-10-23)
《半导体设备国产化专题五:封装设备国产化率特别低,国产品牌急需重点培育》(2019-10-10)
半导体设备行业:晶圆厂扩产提速,中国大陆新一轮集成电路设备采购大潮已经到来》20190923
《半导体设备行业:ASML、KLA、AMAT业绩企稳回升,中国大陆贡献全球24%的设备市场》2019-9-15
《半导体设备行业跟踪:ASML二季度订单额创新高,逻辑客户需求强劲》2019-07-21
《晶圆厂工艺设备配置情况及国产设备市占率的统计分析》中国半导体设备年会(2019)演讲稿
《半导体设备下半年策略:国产集成电路工艺设备全线出击》
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《半导体设备国产化专题二:从H公司28-14nm逻辑电路设备采购数据,看国产工艺设备在先进制程的机遇与潜力》2019-05-19
《半导体设备国产化专题一:从华虹(无锡)项目中标数据,看北方华创、中微半导体、盛美半导体引领工艺设备国产化》2019-05-10
《半导体设备行业跟踪:SemiconChina展会新产品层出,国产集成电路工艺设备正在发力》2019-03-24
《半导体设备行业跟踪:7/5nm制程、存储周期性、5G应用支撑半导体及设备行业2019年先抑后扬》2019-02-15
《半导体清洗设备:国际半导体清洗设备新星——盛美半导体的成长之路》2018-6-26
《半导体设备行业深度报告——装机大年到来,国产设备随芯崛起》2017-12-22
《平板显示设备行业深度报告—— OLED渐成主流且供不应求,Array/Cell制程设备开始进口替代》2017-10-10

2、公司篇
《北方华创— 集成电路工艺设备新产品发力,市场化改革顺利推进》2020-3-5

《中微公司— 度过业务结构调整之年,刻蚀设备将主导公司未来业绩高成长》2020-3-2

《精测电子:来自核心客户BOE的订单维持高增长,子公司Wintest与Spirox合作加快市场推广》2020-2-5
《精测电子:首次中标3台长江存储膜厚设备,打破全球量测设备竞争格局并有望成为中国的KLA》2020-1-18
《北方华创—PVD新产品、新工艺获突破,多个产品的市占率上升》2020-1-14
《中微公司研究:占3D NAND客户介质刻蚀份额为30%,至少可实现2/3的介质刻蚀工艺产业化》(2020-1-8)
《北方华创— ICP刻蚀设备助力上海ICRD 14nm FinFET SADP工艺研发取得重大突破》(2019-12-4)
《北方华创— 股权激励力度加大,全面迎接5G时代的半导体行业浪潮》(2019-11-13)
《长川科技— 单季度收入增速由负转正,收购STI完成并表》(2019-11-1)
北方华创(002371):硅基刻蚀等工艺设备订单明显增加,客户集中投产加快收入确认》(2019-11-1)
《精测电子— 研发费用翻倍,膜厚设备已进入半导体客户》(2019-10-29)
《万业企业(600641):全面转型集成电路装备与材料国产化平台》(2019-9-25)
《精测电子—上海精测获大基金投资支持,集成电路工艺检测设备国产化有望显著加快》
2019-9-5
《半导体设备行业之中微公司跟踪—投资上海睿励,支持集成电路工艺检测设备国产化》2019-8-25
《长川科技深度报告 — 新产品研发和收购STI协同效应打开成长空间》2019-8-22
《北方华创 — 半导体装备收入高增长,集成电路工艺设备新客户不断增加》2019-8-16
《科创板之华峰测控 — 半导体测试设备国产化先锋》2019-8-11
《精测电子 — 拟控股日本WINTEST,加快高端半导体测试设备国产化》2019-8-8
《科创板之芯源微 — 致力于光刻工序涂胶显影设备国产化》2019-7-26
《北方华创— 在手订单充裕,下半年业绩增速有望回升》2019-7-18
《中微半导体新股报告PPT》
《中微半导体新股报告:全球半导体刻蚀和薄膜沉积设备新星》2019-7-5
《安集微电子(688019):打破国外垄断,实现CMP抛光液和光刻胶去除剂等集成电路领域关键材料国产化》
《科创新秀之中微半导体——国际半导体设备产业界公认的后起之秀》2019-04-09
《北方华创深度报告: 工艺设备市场地位显著提升,订单有望持续爆发》2018-09-10
《半导体清洗设备:国际半导体清洗设备新星——盛美半导体的成长之路》2018-6-26


【中银半导体团队】
机械杨绍辉 13818799289
电子赵琦 18616908986/王达婷 15201930395
化工余嫄嫄 13916268664

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