行业报告|电子行业深度报告：电子气体研究框架

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【引言】

电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电 路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“粮食”和“源”。电子半导体器件的性能优劣与电子气体的质量 息息相关。

市场规模和结构：根据techcet，2020年全球电子气体市场规模约为58.5亿美元，其中电子特气的市 场规模为41.9亿美元，占比71.6%。以海外龙头林德集团（含普莱克斯）、空气化工、液化空气和日 本酸素为首的气体公司占有全球 90%以上的电子特种气体市场份额。因半导体产业对气体质量、供应 的特殊要求，中国半导体企业生产工艺中所使用的电子气体亦被海外龙头所垄断。随着未来疫情的缓 解、能源革命与计算革命带动的半导体行业景气持续，预计2025年全球电子气体市场规模将超过80亿 美元，年复合增速预计达到6.5%。
行业壁垒和国内电子特气现状：电子特气对气源和供应系统有着苛刻的要求，属于典型的技术密集型行 业。技术工艺、设备资质、客户认证、市场服务共同构成了电子特气的四大行业壁垒。其中，气体纯化 和气体精度是气体制造的两大技术壁垒。目前IC用特气，中国仅能生产约 20%的品种，主要集中在IC 的清洗、蚀刻、光刻等工艺环节，对掺杂、沉积等工艺的特种气体仅有少部分品种取得突破。
中国电子特气行业趋势：纵观工业气体百余年历史，气体纯度提升、品类增多、气体公司兼并收购贯穿其中。我们认为，国产特气未来的五大趋势分别为品类扩充、高端突破、专业分工明确、尾气回收扩大、气体企业整合提速。对于当前半导体上游供应链，国产替代已成为业界共识，当前电子气体国产化 率不足15%，基于自主可控的供应链安全，随着下游Fab厂的加速认证，我们认为未来国产化率将显著提高。

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